Личный кабинет
63 записи
Валиев К. А.
Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - Москва : Наука, 1990. - 527 с. : рис. - Библиогр.в конце глав . - ISBN 5-02-014381-2 .
Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - Москва : Наука, 1990. - 527 с. : рис. - Библиогр.
3 экз.
Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г.
Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. - Москва : Радио и связь, 2001. - 631 с. : ил. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.:с.572-614 . - ISBN 5-256-01589-3 .
Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. - Москва : Радио и связь, 2001. - 631 с. : ил. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.:
1 экз.
Румак Н. В., Хатько В. В.
Диэлектрические плёнки в твёрдотельной микроэлектронике / Румак Н. В., Хатько В. В. ; АН БССР, Физико-технический институт ; ред. Борисенко В. Е. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190 с. : ил. - Библиогр.:с.181-189 . - ISBN 5-343-00540-3 .
Диэлектрические плёнки в твёрдотельной микроэлектронике / Румак Н. В., Хатько В. В. ; АН БССР, Физико-технический институт ; ред. Борисенко В. Е. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190 с. : ил. - Библиогр.:
5 экз.
Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И.
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. - Ленинград : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - Библиогр.:с.283-286 . - ISBN 5-7325-0001-4 .
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. - Ленинград : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - Библиогр.:
2 экз.
Данилин Б. С.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких плёнок / Данилин Б. С. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 326 с. : рис., табл., граф. - Библиогр.:с.316-324 . - ISBN 5-283-03939-0 .
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких плёнок / Данилин Б. С. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 326 с. : рис., табл., граф. - Библиогр.:
4 экз.
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; Томский политехнический университет, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники (МИРЭА МГУПИ) ; ред. Гуляев Ю. В. - Москва : Юрайт, 2016. - 460 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.: с.405-406 . - ISBN 978-5-9916-7155-2 .
10 экз.
Проблемы микроэлектронной технологии / Российская академия наук ; отв. ред. Орликовский А. А. - Москва : Наука, 1994. - 126 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 8). - Библиогр. в конце статей . - ISBN 5-02-007030-0 .
1 экз.
Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская академия наук ; отв. ред. Великов Л. В. - Москва : Наука, 1994. - 75 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 7). - Библиогр. в конце статей . - ISBN 5-02-007019-X .
1 экз.
Микроструктурирование тонких плёнок : сборник статей / Академия наук СССР, Физико-технологический институт. - Москва : Наука, 1991. - 110 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 2). - Библиогр. в конце статей . - ISBN 5-02-006817-9 .
1 экз.
Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская академия наук ; отв. ред. тома Великов Л. В. - Москва : Наука, 1992. - 97 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 4). - Библиогр. в конце статей . - ISBN 5-02-006868-3 .
2 экз.
